磁控溅射制备Ni亚微米管阵列及微结构研究

陈昶, 刘春海, 张伟

化工新型材料 ›› 2022, Vol. 50 ›› Issue (4) : 128-131.

化工新型材料 ›› 2022, Vol. 50 ›› Issue (4) : 128-131. DOI: 10.19817/j.cnki.issn1006-3536.2022.04.026
新材料与新技术

磁控溅射制备Ni亚微米管阵列及微结构研究

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Preparation and microstructure of Ni submicron tube array by magnetron sputtering

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